涡旋真空泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5477050

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涡旋泵具有在泵的定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间的尖端密封。涡旋泵可具有压载气体供给系统和使用压载气体供给系统的运行以评估尖端密封的状况。可替代地,涡旋密封在沿着泵的压缩机构间隔开的两个位置可具有检测压力的两个压力传感器,用以评估尖端密封的状况。专利说明调旋真Si.栗 [0001]本实用新型涉及涡旋泵,该涡旋泵包括具有嵌套的涡旋叶片的盘涡旋、以及分别提供盘涡旋的其中一个的涡旋叶片的尖端和另外一个盘涡旋的盘之...
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