技术编号：5484815
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造超高真空装置及IC和半导体等中所需的真空发生装置上的涡轮分子泵。背景技术涡轮分子泵具有由转子和定子组成的泵功能部。其中，该转子具有 类似于轴流压缩机形状的多层动叶栅，该定子具有与该动叶栅相交替排 列的多层静叶栅。公知如下例子通过在该涡轮分子泵的叶栅设计中应用新的理论， 使得不仅在自由分子流区域，而且在中间流区域中也具有有效的压缩性 能和排气速度(例如参照专利文献l)。专利文献1日本专利第3532653号7>才艮发明内容发明所要解...
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