技术编号：5485070
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机械，具体涉及一种光致弯曲膜驱动型微泵。背景技术微流量系统能精确检测和控制每分钟微升量级的流量，同时由于尺寸小，可减小 微流量系统中的无效体积，降低能耗和试剂用量，而且响应快。其中，作为一种重要的微型 执行器，微泵可广泛应用于药物输送、DNA合成、微量流体供给和精确控制、芯片冷却系统、 微透析、微推进和微型卫星等等作为该系统核心部分的微泵。目前较多的是薄膜压縮型微 泵，它的流量的控制是通过驱动膜的往复运动引起泵腔体的体积变化而实现的。驱动膜的 ...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。