技术编号：5485622
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械系统(MEMS)领域，特别涉及气体液体硅膜微泵和制造方法，具体来说是涉及一种采用多孔硅膜或转移单晶硅膜作为泵腔体形变膜的双片型液体硅膜微泵和制造方法。背景技术 微泵是微流体系统的重要组成部件，现有以压电驱动、静电驱动和热驱动等多种类型。在这些已有的微泵结构中，一般都需要三、四层，有的甚至多达七层硅和玻璃的键合来构成整体机构。这种多层键合结构不利于微泵的空间尺寸缩小，限制了微泵在空间尺寸要求苛刻的微系统中的应用。而且这些结构的制备工艺复杂...
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