技术编号：5488341
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种获得清洁超高真空的真空泵，尤其涉及一种带吸气 剂的溅射离子复合泵。背景技术目前获得清洁超高真空的真空泵一般有溅射离子泵和非蒸散吸气剂泵。 溅射离子泵的抽气机理是在强磁场和强电场作用下气体电离，正离子猛烈轰 击阴极钛板，溅射出吸气材料钛，钛淀积在阳极内壁和阴极板上，形成抽气 钛膜与活性气体发生化学作用生成化合物，同时覆盖掩埋惰性气体，达到抽 除气体的目的；基于溅射离子泵的工作原理，泵内必须有强磁场和强电场， 磁铁和导磁铁的重量占泵总重量的7...
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