微型振动膜气泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5489564

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本实用新型涉及一种微型薄膜气泵,具体的说,涉及了一种微型振动 膜气泵。背景技术目前,已经公开的各种形式的微型气泵,主要有活塞式和隔膜式;活 塞式气泵由电机驱动活塞运作, 一般体积都较大,而且流量不稳定,应用 领域不广泛;而隔膜式气泵的阀门构造不能满足高精度仪器气流稳定性的 要求。为了解决以上存在的问题,人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。 实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术中气泵气流不稳定、进出气口不灵 活、体积过大的问题,从而提供一种气流无污染...
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