响应于多刺激的用于微流体的致动器元件的制作方法技术资料下载

技术编号:5489934

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响应于多刺激的用于微流体的致动器元件本发明涉及微流体系统、用于制造这样的微流体系统的方法以及用于 控制或操纵通过这样的微流体系统的微通道的流体流动的方法。可以将这 样的微流体系统应用到生物技术和医药应用中以及微电子应用中的微通道 冷却系统中。微流体涉及包括物理、化学、工程和生物技术的多学科领域,其研究 体积比通常的液滴小数千倍的流体的行为。微流体部件形成了所谓的"芯 片实验室"设备或生物芯片网络的基础,所述设备或网络能够处理微升或 纳升体积的流体,并执行高...
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