微型泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5490107

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本发明涉及一种微型泵,尤其涉及使用弯曲变形的压电致动器的微型泵。 背景技术在笔记本电脑等小型电子设备的冷却用泵和燃料电池的燃料输送用泵等 中使用微型泵。微型泵是使用通过施加电压而以弯曲模式弯曲变形的压电致动 器的泵,构造比较简单,与将电动机作为驱动源使用的泵相比,可构成为薄型, 并具有消耗功率小的优点。在专利文献l中披露了一种微型泵,在该微型泵中,在泵本体内形成有泵 室,在构成该泵室的顶壁的膜片的背面(上表面)上粘贴着压电致动器,并在 泵室的正下方配置有流...
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