技术编号：5490136
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种干式真空泵。背景技术干式真空泵广泛地应用于多种工业工艺从而为制造产品提供清洁 和/或低压环境。这些应用包括制药、半导体和平板制造工业。这样的 泵包括大体上干燥的(或无油的)泵送机构，但是通常也包括一些部件， 例如轴承和传动齿轮，以驱动泵送机构，所述部件需要进行润滑以使其有效。干式泵的实例包括罗茨泵、Northey泵(或"爪型"泵)、螺杆 泵和涡旋泵。包括罗茨泵和/或Northey泵转子部件的干式泵通常为包 括定子部件的多级正排量泵，所述定子部...
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