技术编号：5491211
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及制冷与低温工程及真空，特别涉及一种新型高真空深冷水汽捕集器。背景技术在应用真空环境时，通常希望能够快速达到所需真空度，尤其是在真空系统经常开启的场合。由于大气环境中存在水蒸汽，而水蒸汽是最难以采取机械式真空泵(如涡轮分子泵等)抽除的气体之一。因此，真空室内水蒸汽的存在会延长到达所需真空度的时间，即在一定抽气时间内降低了所能实现的极限真空度。有研究表明当真空度高于10-4Pa时，残余气体中水蒸汽的含量高达65％～95％。而现有真空泵(包括分子泵...
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