技术编号：5491785
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。发明领域本发明一般地涉及一种真空泵。具体地讲，本发明涉及一种多级干式真空泵，它在宽的真空度范围内耗电少、抽气速率大。 背景技术在现有技术中，具有支撑着设在外壳内的多个转子的一对轴的多级干式真空泵是公知的。该多级干式真空泵包括多个泵室，每个泵室容纳有一对转子。每个泵室中的一对转子之间以及转子与外壳的内壁之间具有小的间隙。成对的转子按相反方向高速旋转，将从外壳的主入口吸入的流体压缩，并从前一级泵室顺次输送到后级泵室中，将流体从外壳的主入口排出到大气中。这种类型...
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