技术编号：5491902
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有权利要求1的前序部分所述特征的检漏仪。背景技术 从文件DE-C2 31 24 205，DE-A1 42 28 313以及DE-A1 195 23 430中已知这种类型的检漏仪。在此涉及逆流式检漏仪，它通常由作为测试气体的氦气驱动。在检漏工作期间，在试件损坏时包含测试气体的气体通过一根管路从检漏仪入口流至前级真空泵。该管路通过管路区段至少与高真空泵的出口区域、优选也与一个压力级连接。按照其中哪一个管路区段打开的不同情况，以不同的灵敏度进行检...
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