技术编号：5492040
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。真空泵本发明涉及一种真空泵，特别是一种适用于多室差动泵吸的带有 多个口的复合式真空泵。在一个差动泵吸的质谱计系统中， 一个试样和栽气被引入质量分 析器进行分析.附图说明图1中给出这样一个例子。参照图1，在这样一个系统 中有一紧随在笫一 (取决于系统的类型)、第二和第三抽真空的接口室11、 12、 14之后的高真空室10。第一接口室是该抽真空的质谱计 系统中压力最高的室并可包含一孔或毛细管，离子通过该孔从离子源 抽入第一接口室11中。该任选的第二接口室12可...
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