技术编号：5492867
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空泵送系统及其方法，尤其涉及一种用于轻气体如氦气和氢气的、具有高压缩比的真空泵送系统及其方法。背景技术 氦气质谱检漏是一种公知的检漏技术。使用氦气作为一种穿过密封试样的最小漏缝的探漏气体。氦气然后被吸入检漏仪器中并被测量。氦气的数量与泄漏率相对应。该仪器的重要构件是探测和测量氦气的质谱分析管。质谱分析管将吸入的气体电离并对它们进行质量分析以分离氦气成分，然后测量这些氦气成分。在一方法中，试样的内部连接到检漏器的检测口上。氦气被喷射到试样的外...
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