技术编号：5492935
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种泵装置，利用可在导向压力下移动的活塞，始终定量的排放流体。背景技术 定量排放泵已经用于恒量供应化学液体、颜料、清洗液等，例如，可以用于生产半导体等的装置、涂层装置以及医用装置中。波纹管式泵如同定量排放泵那样用于许多方面，其中获得吸入和排放压力以使绕驱动轴安装的折叠形的波纹管在马达等的驱动作用下展开和收缩。在例如日本特许公开专利号10-47234中公开了根据常规技术的定量排放泵，其中阀套和泵壳以整体成形的方式提供，其中分别安装了第一阀部件和第二...
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