真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法技术资料下载

技术编号:5494563

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本发明提供一种在不会发生失调、能够实现稳定的排气动作的。真空泵具有转子(21、22);驱动马达(35);磁耦合机构(50),其以第1阈值(Th1)以下的转动扭矩向所述转子传递所述驱动马达的转动力。该真空泵的运转控制方法为当所述负载扭矩为比所述第1阈值(Th1)小的第2阈值(Th2)以下时,增大所述驱动马达(35)的转速,当所述负载扭矩超过所述第2阈值(Th2)且为所述第1阈值(Th1)以下时,减小所述驱动马达(35)的转速。专利说明[0001]本发明涉及一...
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