排气用泵的定子及其制造方法、以及具备所述定子的泵及其制造方法及组装方法技术资料下载

技术编号:5494732

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本发明提供即便使螺杆转子与定子的间隙的宽与以往相比格外狭小也可以充分确保旋转的安全性、可以大幅提高泵的排气性能的定子。本发明的定子(106)以由加工成定子用的不锈钢等金属形成的基材为构成母体,在基材的与螺杆转子的齿的前端面(201)相对向的内壁面(203)上设置有PFA膜。PFA膜为通过在内壁面(203)上涂装PFA后,经过熔融与再熔融的过程而形成,从而赋予其自由表面以高平滑性。本发明的定子以定子(106)的内壁面(203)与螺杆齿槽部(103)的齿的前端...
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