技术编号：5496486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及风机配套的附属部件结构，尤其涉及一种风机过滤器固定装置。背景技术随着半导体工艺设备的发展，对集成电路硅片的清洗制造工艺要求也越来越高。集成电路清洗工艺过程中，风机过滤器(Fan Filter Unit，简称为“FFU”)主要用于微小颗粒过滤、产生较均匀的风速以求得到一个良好的层流环境。因此，对于风机过滤器的安装要求也必然越来越高。目前，国内外大多数的半导体设备生产商均采用一种如图1和图2所示的固定装置I来对风机过滤器a进行安装，当固定装置I周...
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