技术编号：5498305
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种爪式无油真空泵。背景技术目前市场上的真空泵存在以下缺陷1、清洁度低，没有对油润滑型的干式真空泵的油蒸气污染采取必要的措施，没有对抽气过程中混入的颗粒物做好有效的防护；2、安全性低，没有对CVD (化学气相沉积)过程中可能出现的爆炸事故做好防护措施；3、耐磨性低；4、造价高；5、维修不方便；6、性能不稳定；7、振动大、噪音高。实用新型内容本实用新型的目的是提供一种爪式无油真空泵，以克服目前现有技术的真空泵存在的清洁度低、安全性低、耐磨性低、...
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