技术编号：5502981
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空泵，以及真空泵起动方法，更特别地，涉及一种将气体从用在半导体制造装置或类似装置中的室内排出的真空泵，以及起动该真空泵的方法。背景技术 在半导体制造装置中，一种真空泵广泛用于将半导体制造过程中使用的气体从室内排出，并在室内产生真空环境。作为该类型的真空泵，公知的是具有罗茨式或螺杆式泵转子的容积式真空泵。通常，容积式真空泵包括一对安置在泵壳内的泵转子，以及用来旋转泵转子的电机。在上述一对泵转子自身之间，以及泵转子和泵壳的内表面之间，形成细小的...
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