技术编号：5504440
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于流体的泵，特别是一种其中泵浦腔为近似盘形圆柱形腔、具 有近似圆形的端壁的泵。这种泵的设计被公开在W02006/111775中。背景技术在这种泵中，一个或两个端壁被致动器驱动沿大致垂直于该端壁的平面的方向振 荡位移。其中，端壁被这样驱动端壁表面可以但不必自身形成为例如单压电晶片或双压电 晶片的复合振动致动器(composite vibration actuator)的元件。可替换地，端壁可形成 为通过与其具有力传递关系(例如，机械接触、磁或...
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