技术编号：5504672
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及流体泵领域，属于高转速机械真空泵一分子泵。目前已广泛应用的涡轮分子泵虽然具有良好的高真空和超高真空性能，但由于工作原理和泵的结构的限制，前级耐压为10-7torr量级，当泵的入口压强高于10-2torr时，抽速、压缩比显著下降。而某些应用领域，如化工、半导体、宇航、能源、微电子、核电子等应用研究领域的等离子研究课题PVD、CVD要求泵能承受几个torr的前级工作压强，在入口压强高于5×10-2托时泵的抽速要达到150l/sec。涡轮分子泵是不能满...
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