技术编号：5506761
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种精密设备驱动装置，具体涉及一种空气式位置补偿装置，属于机 械设备领域。背景技术随着精密设备的不断发展和器件尺寸的进一步缩小，在精密设备的驱动方案中， 越来越多的需要对驱动对象的位置调节具有高精度、多自由度，并要求驱动装置具备屏蔽 外部振动的作用。在现有技术中，采用多个洛伦兹电机的组合或平面电机的驱动方案，可以 满足精密设备驱动的上述要求，但对于大载荷的位置驱动，单纯依靠电机调节位置，会带来 很大的发热量，势必对驱动对象产生热应力变形等影响。对...
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