一种压电晶片驱动的精密步进式液压缸的制作方法技术资料下载

技术编号:5509861

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本发明属于机电液一体化,具体涉及ー种压电晶片驱动的精密步进式液压缸,用于大行程的精密步进驱动、定位及振动控制。背景技术随着精密机械加工、精密測量、显微医学、精密光学工程以及航空航天等领域发展,大行程的精密步进驱动、定位及振动控制技 术研究受到世界各国学者的广泛关注。目前用于构造精密位移驱动器的主要是电磁、磁致伸縮、记忆合金及压电陶瓷等功能材料,其中压电陶瓷因具有高能量密度、高功率、输出力大、高响应频响、高分辨率及无电磁干扰等优势,被广泛应用。常见的压电精密...
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