线性致动装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5524859

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本发明涉及一种线性致动装置,通过从流体进/出口导入压力流体,能够迫使装 置中的滑台沿着缸体的轴向往复运动。背景技术迄今为止,由诸如流体压力缸等组成的线性致动装置(linear actuator)已作为 工件传输手段被予以采用。在日本专利No. 3795968中,本申请人提出了一种线性致动装 置,通过使滑台(slide table)沿着缸体(cylinder main body)直线往复移动,该装置能 够运送承载于滑台上的工件。然而,在最近的几年中,对于上述...
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