一种真空调压阀的制作方法技术资料下载

技术编号:5529039

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本实用新型涉及一种阀门,特别是涉及一种真空调压阀。技术背景 现有的真空调压阀大多是用于自动调节真空泵的流速,但是现有的真空调压阀反应速度比较慢、精确度不高、误差比较大。发明内容本实用新型是为了解决现有技术中的不足而完成的,本实用新型的目的是提供一种结构简单、反应速度快、控制精度高、可恒定控制真空在设定值的±2%的范围内,误差比较小的真空调压阀。本实用新型的一种真空调压阀,包括由膜片左右分隔开的基准腔和控制腔,所述控制腔设置真空系统截止阀,所述基准腔的下部设...
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