技术编号：5537001
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种密封装置，特别是涉及ー种用于可旋转和/或上下滑动的运动管件和固定平板连接处的密封装置。背景技术目前，在多种设备中需要安装既可以旋转又可以滑动的运动管件，如用于硅片清洗的清洗设备エ艺腔室中的喷淋臂。根据不同エ艺的要求，运动管件在工作时可相对其固定平板进行旋转和/或上下滑动，因而运动管件与固定平板之间需留有一定的间隙来保证顺利运动。然而，管件中喷出的液体经常会有部分通过运动管件与固定平板之间的间隙进入到其它的腔室中，影响其它腔室的正常运行。因此，...
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