技术编号：5552572
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统MEMS的,具体涉及一种采用SMA (Shape MemoryAlloy,形状记忆合金)的元件级MEMS器件主动隔振器，其利用SMA材料变弹性模量特性，基于MEMS加工工艺的元件级MEMS主动隔振器。背景技术微机电系统MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是集微机械与微电子功能于一体的微型机电器件或系统，基于MEMS技术的器件(如MEMS传感器、驱动器)由于其体积小、重量轻、灵敏度高而广泛应用，尤...
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