技术编号：5562155
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明 背景技术本实用新型涉及一种用于多种气体混合分装和准分子激光器的激光气体控制中的耐腐蚀组合阀门装置。背景技术在气体激光器中，特别是准分子激光器，其必须的激光工作气体是稀有气体单卤化物，一般都需要卤素气体、稀有气体和缓冲气体混合而成。为了保证激光能量和稳定可靠的工作，则激光器的激光工作气体必须使用纯度为99.999％以上的单一气体以一定的气体比分混合，通过气体配气装置罐装到钢瓶中，制成钢瓶装的激光混合气体，可直接用作激光工作气体；或者通过激光器本身...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。