技术编号：5571426
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种专门适用高真空设备的阀门，特别涉及一种双向真空阀。真空阀门专用于高真空设备中，尤其是应用于幕墙玻璃、ITO透明导电玻璃镀膜生产线上，以及半导体器件、太阳能器件、光学器件镀膜用真空设备中。常用于狭长真空通道上的真空阀门是转页式阀门，它由阀座、闭合板、转轴、曲柄、连杆、驱动器组成，闭合板与转轴固定连接，布置在真空通道上方，闭合板密封面上设有密封圈，驱动器通过曲柄、连杆带动转轴、闭合板转动，使真空通道密封，若驱动器反向转动，则密封通道畅通。转页...
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