技术编号：5585983
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体或化学制品、药品、精密机械部件等制造所使用的气体等各种流体的流量控制装置，更详细地说，是涉及可用同一节流孔高精度地对各种流体或流量范围进行流量控制，而且通过自由更换节流孔可大幅度地改变流体种类或流量范围的流体可变式流量控制装置。背景技术 一般来说，半导体制造设备或化学制品的制造设备的流体供给装置必须要进行高精度的流量控制，几乎都使用质量流量控制器。图7示出了半导体制造装置用的高纯度水份发生装置的一例。三种气体H2、O2及N2在由质量流量...
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