技术编号：5587553
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种应用在超高真空系统中的超高真空闸板阀密封装置。背景技术目前，我国国内生产的超高真空闸板阀，其技术和性能指标等均比较落后，难以满足超高真空系统的要求。现有的超高真空闸板阀包括上阀板、下阀板、驱动装置及阀体，阀体内设有阀板架，上、下阀板分别安装在阀板架的两侧，上阀板内圆周壁设有密封圈，下阀板上开有导向槽，上、下阀板与阀板架相对的表面均开有雨点状凹槽，置有滚珠；阀板架上开有圆孔，圆孔的两侧设有限位下阀板的限位轴承，阀板架的一端设有定位轴，另一端...
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