技术编号：5587794
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可储存和分配流体的阀组件，具体地，本发明涉及一种多个导出阀组件，储存和分配压力气体，可防止压力气体从容器失控排放。背景技术 工业部门要求有一种安全和高效的方式来处理低于大气压的有毒的可燃的腐蚀性气体。具体地，这些气体包括掺杂气体。一般地，掺杂气体储存在压力气瓶中，其压力等于给定或特定压力下的各种气体的蒸气压，并取决于特定气体的性质。掺杂气体用作掺杂材料源，用于制造半导体器件。这些掺杂气体用于称为离子注入机的装置。离子注入机位于半导体生产装置的...
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