技术编号:5587884
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及阀安装加热器单元,所述阀安装加热器单元将被安装到阀上,所述阀通过接头被连接到流体管路(piping)系统。背景技术 对于安装到将气体供给到半导体制造设备等的管路系统上的阀,必须防止由于气体通过阀时气体中的温度的降低露水凝结形成在阀上。此外,安装在承载在靠近室温的温度上凝固的液体的管路系统上的阀,必须防止由于液体的凝固所导致的阀阻塞或者阀内的沉淀物的发展。此外,对于承载较高温度气体或者液体的管路系统,将在流体通过阀时通过管路系统所承载的流体的温度的...
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