技术编号：5588004
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。具体而言，本发明涉及用于制造将被安装到诸如管道和阀门的加热物体上的加热器单元的方法。背景技术 对于诸如安装到将气体供给到半导体制造设备等的管道系统上的阀门，必须防止在阀门之内形成露珠凝结，所述露珠凝结是由于气体通过所述阀门时的温度落差所造成。此外，对于安装到承载将在接近室温的温度上固化的液体的管道系统上的阀门，就必须防止阀门的阻塞或者由于液体的固化在阀门之内的堆积(accretion)的发展。此外，对于承载高温的气体或者液体的管道系统，在其通过...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。