技术编号：5588010
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种伺服阀，该伺服阀用于打开和关闭在真空系统的流体入口和流体出口之间的通道，特别地，本发明涉及一种阀，其可插入高压差和低压差的系统中，并能够用简单的传动装置来操作。背景技术 通常，存在用于压力系统的伺服阀，其中，在入口部或出口部与控制室之间的压差作用下，活塞可在闭合位置和打开位置之间移动。由于采用压差，可借助于相对简单的传动装置(actuator)，如螺线管来操作这种阀，其中，这种传动装置能耗低，重量低。所述传动驱使导阀在其中一个开口和控制室之间...
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