技术编号：5589033
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通用化空气伺服调节刚度的动力消振器，它通过空气压力的变化达到改变等效弹簧刚度的目的。本发明主要针对超精密试验台、超精密机床和光学平台的隔振要求开发，属于超精密加工及测量领域。背景技术 动力消振器与隔振器都用于消除有害振动，但是方式不同，前者主要用于降低振动的共振幅值，后者是将隔振器固有频率设计得远低于需要隔振设备第一阶固有频率的0.707以下，使设备各阶固有频率的振动都得到抑制。动力消振器是需要根据特定的负载和振动环境进行设计相关的刚度、阻尼...
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