技术编号：5590408
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种真空闸阀，尤指一种可气密隔绝或导通两真空腔的真空闸阀。背景技术 真空闸阀在许多应用真空技术的设备中占有重要角色，包括有机物、金属或半导体等材料的薄膜制程设备，以及涉及控制物质表面特性的高真空或超高真空系统。真空闸阀的主要功能是提供两真空腔间的一道气密阀门，当开启阀门导通两真空腔时，可在由真空闸阀串连的两真空腔间传输物体。根据制程或真空系统的需要，个别真空腔可能有不同的内部压力，使真空腔之间存在压力差。一般情况下，此压力差可达一大气压，其施予...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。