技术编号：5591159
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超精密测量与超精密加工装备，主要涉及一种基于气磁零位基准和激光自准直测量的空气弹簧隔振平台。背景技术在超精密计量测试和超精密加工领域中，具有高质量水平姿态的平台是进行精密测量和大规模集成电路制造的基本保证。高质量水平姿态空气弹簧隔振平台的应用十分广泛。在生物科学、电子光学、精密机械加工、理化试验及其研究相关的工厂中，平台的水平姿态控制会影响到机器设备的测量实验结果和仪表器械的使用性能，并且会直接影响空气弹簧隔振平台对振动的抑制性能。随着超精密测量...
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