技术编号：5592008
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种由压缩空气的压力对抗弹簧弹力而向开启状态过渡或者维持关闭状态的流量控制阀，特别涉及一种在半导体制造装置中使用的流量控制阀。背景技术 作为一种现有的流量控制阀，例如有特开平7-253170号公报所记载的流量控制阀。图4显示了这种流量控制阀100的剖视图。流量控制阀100具有下述整体外形，即具有左右形成有输入口121和输出口122的下体120，将形成有第1操作口131的中间体130固设在下体122的上方，将形成有第2操作口141且安装有调整螺栓1...
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