技术编号：5599391
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于半导体制造装置等的流体控制装置，尤其涉及 由多个流体控制器集成而形成的流体控制装置。背景技术在用于半导体制造装置的流体控制装置中，多个流体控制器串 联配置，互相之间不通过管道或连接器直接连接，将由此形成的多 条管线并列设置在基体部件上，这种集成化手段得到了发展，专利 文件1公开了这样的流体控制装置，其通过外螺紋部件将作为下段 层的多个块状连接器部件安装在基体部件上，并以跨过邻接的连接 器部件的方式安装作为上段层的多个流体控制器。专利文献1日本...
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