技术编号：5605258
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于流体控制应用领域，具体涉及ー种基于多振子串联驱动的柱塞式压电阀，用于大流量、高压カ、以及要求控制精度较高使用环境。背景技术利用薄片型压电振子在电压作用下产生弯曲变形的特性，国内外均已开发出了多种类型的压电晶片阀，因其具有响应快、结构简单、无电磁干扰、价格低廉等诸多优势而被广泛应用。目前用于制作压电晶片阀的薄片型压电振子主要有圆形、悬臂梁及简支梁压电振子，如中国专利200780048423. 9、01133830. X等。尽管上述压电阀中压电振...
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