技术编号：5609411
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于真空装置的闸阀，具体涉及蒸镀装置的电子枪用 闸阀。背景技术在制造半导体、薄膜、液晶等时使用的真空装置中，使用开放、 关闭各真空室间的间阀。现有技术中，已知有各种真空装置用间阀。例如，有在闭阀时使用膨胀密封件(一y7，一卜、乂一^)来提高密封性的阀(例如参照专利文献l、 2)或摆式阀等。图5、图6表示摆式阀的一例。该现有的摆式阀200从正面看时， 在阀箱202的侧壁202b上形成开口 204b (图6 )。另外，该阀200从侧面看阀箱202内部...
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