技术编号：5609915
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种节省空间的集成流体传送系统，其对于将气体散布在半导体处理设备中特别有用。本发明还涉及一种开/关阀的精简设计，其被设计来容许或禁止气体流进入半导体处理设备中。本发明还涉及其它集成流体组件，如过滤器、压力感应器、流体热感应器、层流组件、压力调节器、控制阀、流量限制器及止回阀，它们可被不同程度地整合至流体传送网络架构的结构中。背景技术 在依赖流体运送的化学处理中，特别是当将被运送的流体是危险且具活性的物质时，流体运送装置与网络架构的系统泄漏可靠度的...
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