磁流体密封真空阀门及真空泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5614770

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本实用新型涉及一种磁流体密封真空阀门及真空泵。背景技术现有的真空阀门在轴向的运动密封普遍采用波纹管密封或“O”型橡胶圈密封,而真空泵在轴封上安装有油封。由于上述密封形式轴运动与密封都是直接接触,存在磨损、增加功耗、使用寿命低和漏率大等问题。而在运动速度高的时候,真空阀门和真空泵的密封性能急速下降,各方面根本达不到设计的要求,使用范围受限制。实用新型内容为了克服上述的缺陷,本实用新型提供一种密封效果更好的磁流体密封真空阀 门。为达到上述目的,一方面,本实用新...
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