技术编号：5614986
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超高真空系统中的闸板阀，具体地说是一种用于调节 气体流量，切断或接通管路的超高真空手、气动闸板阀。 背景技术目前，人们普遍使用的超高真空手、气动闸板阀，其技术和性能 指标等均比较落后，结构复杂，加工和装配都不方便，难以满足超高 真空系统的要求。现有的超高真空闸板阀由上、下阀板、闽板架、驱 动装置、阀体等组成，阀板架安装于阀体内，上、下阀板分别连接在 阀板架的两侧。阆板架由厚板车成，两侧及一个表面上设有轴，轴上 套有导向轴承。上、下阀板上均设有一螺...
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