技术编号：5618302
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密仪器领域，尤其涉及超长气浮导轨的安装方法及根据该方法所设计的装置。背景技术 气浮导轨(气体静压导轨)是超精密加工中的核心技术，一般使用在超精密机床上，以1～2米长的为最多见。气浮导轨在运动方向没有摩擦力的干扰，在约束方向它又有很好的刚度，能很好的满足超精密加工或测试的需要。气浮导轨的精度高，要求气浮间隙小，一般工作间隙为20μm以下。超长气浮导轨一般是由多段导轨拼接而成，在保证较高直线度的前提下，这必然要求接缝平整，气密性好，长期稳定性和热稳...
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