技术编号：5625401
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及工程元件中的轴承，尤其涉及由气流形成流体垫所支撑的空气轴承。背景技术在很多精密运动系统中可能会用到空气轴承，如在液晶显示器件面板生产过程中，空气轴承被广泛应用在具有精密气浮运动系统的设备中。空气轴承的工作原理如图1所示，在运动轴与载台之间安装有空气轴承，将压縮空气通过空气轴承1的进气孔2注入到空气轴承内部的气腔内，气腔内的空气从底部的排气孔排出来，从而保证空气轴承悬浮在载台3的表面，并通过运动系统的控制来实现运动轴的精密运动。 传统空气轴承的...
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