技术编号：5630142
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种密封件。 背景技术橡胶密封件广泛用作一般的通过低紧固力便能简单地确保密封性的密封件，例 如，用作半导体制造装置和液晶制造装置的真空用闸阀的密封件。橡胶密封件的形状除了极其一般的0形圈或唇形密封圈等之外，例如，多数采用 如专利文献1 专利文献3所公开那样的异形截面品。专利文献1 日本专利特开平10-318373号公报专利文献2 日本专利特许第3050919号公报专利文献3 日本专利特开2004-316724号公报发明的公开发明所要解决的技术问题...
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