技术编号：5630882
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明 一、本实用新型涉及一种微位移移动平台，尤其是指一种栅线相移器的微位移发生器。二背景技术目前，微位移装置大多采用压电陶瓷产生微位移，在需要产生几百微米位移时通常需要采用压电陶瓷堆和高电压实施，由于使用高电压，因此，设置复杂难以精确控制，且只能用于100微米以下，而不能用于变化范围在几百纳米至几百微米微位移的场合。三、技术方案技术问题本实用新型提供一种适于产生几百纳米至几百微米的微位移控制简便易行且成本低廉的微位移发生器。技术方案一种用于栅线相移器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。